有機廢氣處理設備處理污染物的原理為在外加電場的作用下，介質放電產生的很多高能電子炮擊污染物分子，使其電離、解離和激起;然后引發一系列雜亂的物理、化學反應，使雜亂大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除。

低溫等離子體技能對大氣量、低濃度的污染氣體有較高的處理功率，是性價比十分高的有效處理技能。該辦法具有功率高、成本低、設備適應性強、占地面積小、便于操作操控、開停便利、與噴漆工藝同步、可根據污染物源強和排放要求進行升級等長處。作為環境污染處理領域中的一項具有潛在優勢的高新技能，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。

單一等離子體有機廢氣處理功率較高且副產物較少，不會造成二次污染，但其較高的能耗和較低的能量功率是目前需求攻克的難題，等離子復合光催化可以彌補其缺點。等離子體催化劑選用TiO2，其為寬禁帶(Eg=3.2eV)半導體化合物，只要波長較短的太陽光才干被吸收，激起其活性，所以設計反應設備的時候需求添加紫外光源。