工業(yè)廢氣處理廠家選用低溫等離子體分化油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的效果。流星雨狀的高能離子與介質內(nèi)分子（原理）發(fā)作非彈性磕碰，將能量轉化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)作激起、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態(tài)。污染介質在等離子體的效果下，發(fā)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學反應后被脫除。

當離子均勻能量超過污染介質中化學鍵結合能時，分子鏈斷裂，污染介質分化，并在等離子發(fā)作器吸附場的效果下被搜集。

在低溫等離子體中，可能發(fā)作各類型的化學反應，這首要取決于等離子的均勻能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質內(nèi)分子濃度及共存的介質成分。對氣態(tài)有機污染物的降解機理有滿足的能量來發(fā)生自由基，引發(fā)一系列雜亂的物理、化學反應。由低溫等離子體引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激起、原子.分子間的彼此結合及加成反應進行工業(yè)廢氣處理。