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上海埃錚壓縮機科技有限公司


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密閉式電機鼓風機

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產品簡介

概述適用于工業高真空技術的正排量風機

詳細介紹


概述

適用于工業高真空技術的正排量風機。

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計,可輸送中性(HM 設計)和腐蝕性(CM 設計)氣體,用于工業高真空技術。 此系列的特點是高能效。


適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本:

AERZEN CM 系列共可選 14 種結構尺寸,適用的理論進氣流量范圍從 110 m3/h 到 15,340 m3/h,適用的壓力范圍在 10^-5 mbar 壓力以內。 產品優勢一覽:

通過 ATEX 0 區認證(內部)

4 種不同電機變體,實現較佳選擇

機械負載較高(高達 150 mbar),因此縮短了泵送時間

僅消耗少量水、氮和油


適用于凈室環境應用

借助變頻器實現較大的控制范圍(從 1.450 到 7.400 rpm,或從 1.240 到 2.900 rpm)

可選擇縱向或水平輸送方向


適用于中性氣體的 HM 系列版本:

AERZEN HM 系列可選 9 種結構尺寸,在 10^-5 mbar 的真空壓力條件下,適用的理論進氣流量范圍從 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產品優勢一覽:

4 種不同電機變體,實現較佳選擇

機械強度較高(HM 系列高達 230 mbar),因而大幅縮短泵送時間

耗水量、耗氮量低

適用于凈室環境應用

借助變頻器實現較大的控制范圍,各項參數針對 AERZEN 密閉式電機鼓風機進行過調整,卓有成效

可選擇縱向或水平流動方向


技術參數

結構形式:正排量風機

體積流量:406 止于  15.570 m3/h

介質:空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體

輸送:無油

FINAL VACUUM:表壓(單位:10^-5mbar)


性能

眾多制造工藝經過較高的壓力差優化,原因正是如此。

AERZEN 密閉式電機鼓風機大幅縮短泵送時間,從而提高了產量。 這是工藝優化的一大進步。


設計與結構

AERZEN 真空泵的殼體法蘭之處配有 O 形圈密封件。 風機頭還有真空密閉性和空氣冷卻等其他重要優勢。 由濺油潤滑裝置提供潤滑油。 礦物油和 PFPE 油都可以作為潤滑劑,PFPE 油通常用于半導體技術。 密閉式電機鼓風機在輸送室和軸承室配有專用的矩形圓環—迷宮—密封件。 另外還安裝了一個配有冷凝通道的大尺寸中和室。 或者,中和室可以用密封氣體沖洗,以實現更強的密封效果。 一體化密閉式電機可保障對驅動軸的密封。 因此無需連接大氣的軸通道,從而可以從技術上實現明顯更高的轉速。


應用

中性氣體還是腐蝕性氣體? AERZEN 針對二者都提供了適用的解決方案,并且結構尺寸也非常合理!

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計,可輸送中性(HM 系列)和腐蝕性(CM 系列)氣體,專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。

此前級泵在大氣壓力條件下開始運行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機鼓風機,然后泵送流程啟動。 根據應用的不同,可以使用液環泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風機作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用專用參數集時,前級泵也可以在大氣壓力條件下運行。


應用領域

半導體行業

微電子工業

平面屏幕制造

激光技術

太陽能技術

氦檢漏裝置

化學工藝技術

箔紙和玻璃噴漆

熔爐制造

氫的提取

*使用帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 真空鼓風機時,必須配備額外的前級泵(多級系統)。


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