ERSAC3TS010Chiller不制冷維修，AC3系統(tǒng)的核心是ACP空氣管理系統(tǒng)技術(shù)。在兩端式的冷卻操作中，提取冷卻的空氣。使用過(guò)的干燥的靜靜冷空氣還可以作為節(jié)約成本的凈化空氣，重新吹向卡盤(pán)，以防止晶圓和其周?chē)鷧^(qū)域結(jié)冰。