MS張力傳感器在真空卷繞鍍膜設備中運用到常見的兩款型號為LMGZ軸承式張力傳感器和C203活動軸張力傳感器。
FMS 真空張力傳感器采用全密封真空兼容設計,通過特殊防脫氣處理與金屬焊接封裝工藝,有效避免內部材料在真空環境下釋放氣體,防止腔體污染。傳感器可穩定工作于10?? Pa 至大氣壓的全真空度范圍,在半導體芯片制造的 CVD、PVD 工藝,以及真空鍍膜設備的分子泵環境中,依然能保持 **±0.3%** 的測量精度,精準捕捉微米級薄膜或金屬線材的張力變化。
產品結構經過強化設計,選用高純度不銹鋼材質,具備優異的耐腐蝕性與機械強度,可抵御真空環境下的溫度驟變與壓力波動。旗下LMGZ 系列采用懸臂梁式結構設計,適用于窄幅材料的張力測量,在柔性電子器件制造的真空蒸鍍環節表現出色;C203 系列采用緊湊型設計,支持軸徑式安裝,在卷繞式真空鍍膜設備中可實現對精密基材的穩定監測。同時,全系傳感器支持多種信號輸出模式(RS485、Modbus、模擬量),能無縫對接各類真空設備的自動化控制系統,確保數據傳輸的穩定性與實時性。
憑借瑞士原廠嚴苛的測試認證體系,FMS 真空張力傳感器已成功應用于國外眾多真空生產線。在真空鍍膜行業,精確控制柔性基材張力,保障納米級薄膜均勻沉積;于航空航天零部件制造中,為真空熱處理工藝提供可靠張力監測,助力提升產品良品率與生產效率。選擇 FMS 真空張力傳感器,即是選擇真空環境下的測量精度與品質保障。