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真空機(jī)械手PHOENIX PLUS B系列

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新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司(以下簡稱“新松”)成立于2000年,隸屬,是一家以機(jī)器人技術(shù)為核心的高科技上市公司。作為中國機(jī)器人企業(yè)及國家機(jī)器人產(chǎn)業(yè)化基地,新松擁有完整的機(jī)器人產(chǎn)品線及工業(yè)4.0整體解決方案。以創(chuàng)新、開放和共贏的思維行業(yè)進(jìn)步,以的產(chǎn)品和服務(wù)為客戶持續(xù)創(chuàng)造價(jià)值。新松本部位于沈陽,在上海設(shè)有國際總部,在沈陽、上海、杭州、青島、天津、無錫建有產(chǎn)業(yè)園區(qū)。同時(shí),新松積極布局國際市場,在韓國、新加坡、泰國、香港等地設(shè)立多家控股子公司,現(xiàn)擁有4000余人的研發(fā)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì),形成以自主核心技術(shù)、核心零部件、核心產(chǎn)品及行業(yè)系統(tǒng)解決方案為一體的全產(chǎn)業(yè)價(jià)值鏈。作為中國機(jī)器人產(chǎn)業(yè)頭雁,新松已創(chuàng)造了百余項(xiàng)一。成功研制了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的工業(yè)機(jī)器人、協(xié)作機(jī)器人、移動(dòng)機(jī)器人、特種機(jī)器人、服務(wù)機(jī)器人五大系列百余種產(chǎn)品,面向智能工廠、智能裝備、智能物流、半導(dǎo)體裝備、智能交通,形成產(chǎn)業(yè)方向,致力于打造數(shù)字化物聯(lián)新模式。產(chǎn)品累計(jì)出口30多個(gè)國家和地區(qū),為3000余家國際企業(yè)提供產(chǎn)業(yè)升級服務(wù)。新松緊抓新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革契機(jī),發(fā)揮人工智能技術(shù)的賦能效應(yīng),以工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算、5G網(wǎng)絡(luò)等新一代科技推動(dòng)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)平臺(tái)化發(fā)展,打造集創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、金融鏈、人才鏈于一體的生態(tài)體系。聚焦核心技術(shù),共享智能時(shí)代。智慧新松,未來!
工業(yè)機(jī)器人
直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu),與PHOENIX B系列相比,將控制器集成到機(jī)械手本體之內(nèi),大大縮減了整體尺寸,IO處理模塊進(jìn)行升級,具有*的防碰撞保護(hù)功能。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì),支持用戶定制,手臂長度可選,可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。
真空機(jī)械手PHOENIX PLUS B系列 產(chǎn)品信息

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性,內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪,皮帶等部件,系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性好,可靠性高。與PINUS B系列相比,將控制器集成到機(jī)械手本體之內(nèi),大大縮減了整體尺寸,并且縮短了互聯(lián)線纜長度,可靠性得以提升。IO處理模塊,可以根據(jù)用戶需求配置輸入輸出數(shù)量,有效電平可以切換,用戶可以根據(jù)需求將輸出輸入引腳配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號(hào)支持硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。碰撞保護(hù)功能可以減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。以示教器作為人機(jī)交互媒介,方便調(diào)試人員使用。可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求,定制手臂尺寸、耐高溫耐腐蝕特性等。


參數(shù):

本體重量Body Weight

50KG

適用晶圓尺寸Wafer Size

300mm/200mm/150mm/100mm

負(fù)載Payload

1KG

電源輸入Power Supply

24 V DC, ±5%

節(jié)拍Bear

10.5 s(Pick+Rotate180°+Place,與手指材料、傳輸位置相關(guān))

動(dòng)態(tài)偏差糾正精度(AWC)

±0.1mm

重復(fù)定位精度Repeatability

Z: ±0.05mm3σ)

T: ±0.006°(3σ)

R: ±0.05mm3σ)

漏率Leak rate

< 1 x 10-9 std. cc/sec He

真空度Base Pressure

5X10-9Torr

適用溫度

Applicable temperature

法蘭:<120;本體:<50;手臂:<120

潔凈度Clean Class

ISO CLASS1

MCBF

>11million cycles

復(fù)合運(yùn)動(dòng)

Compound motion

支持Support

PC遠(yuǎn)程操作軟件

支持Support

通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互鎖IO interlock

支持Support

安全區(qū)Safe area

支持Support

碰撞保護(hù)

Collision protection

支持Support


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