所謂等離子體是繼固體、氣體、液體三態后，列為物質的第四態，由正離子、負離子、電子和中性離子組成，因體系中正負電荷總數相等，故稱為“等離子體”。
等離子體按粒子溫度可分為平衡態（電子溫度=離子溫度）與非平衡態（電子溫度>>離子溫度）兩類。
非平衡態等離子體電子溫度可上萬度，離子及中性離子可低至室溫，即體系表觀溫度仍很低，故稱“低溫等離子體”，一般由氣體放電產生。
低溫等離子體技術是近年發展起來的廢氣處理新技術，低溫等離子體處理廢氣的原理為：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。
等離子體按粒子溫度可分為平衡態（電子溫度=離子溫度）與非平衡態（電子溫度>>離子溫度）兩類。
非平衡態等離子體電子溫度可上萬度，離子及中性離子可低至室溫，即體系表觀溫度仍很低，故稱“低溫等離子體”，一般由氣體放電產生。
低溫等離子體技術是近年發展起來的廢氣處理新技術，低溫等離子體處理廢氣的原理為：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。
