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微型PECVD系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海繪吉電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/9/8 9:11:20
  • 訪問次數190
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上海繪吉電子科技有限公司主要代理歐、美、日及科學儀器、工業質檢儀器及相關消耗品,專業涉及高校、新能源、鋼鐵行業、科研研究及輕工化工、在國內特別是華東地區具有廣泛的客戶基礎和良好的商業信譽。經過幾年的發展,繪吉公司已經在同行業中確立了多方面的好的地位,無論在公司規模、人員素質、經營品種、銷售能力和售后服務等各方面獲得了同行及用戶的廣泛認可。 上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質譜儀,粒度儀,真空系列等分析類設備),電池材料制備設備,實驗室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實驗室耗材。。上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質譜儀,粒度儀等分析類設備),德國普發真空設備,電池材料制備設備,實驗室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實驗室耗材。上海繪吉-德國普發真空Pfeiffer Vacuum-作為的真空技術解決方案的供應商之一。我們不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵, 同時還擁有各種旋片泵,干泵,羅茨泵,氦氣質譜檢漏儀,真空規,四級質譜儀等產品以及真空管件和綜合真空系統。 從普發1958年發明渦輪分子泵至今, 我們在分析、研發、鍍膜、太陽能、半導體和其他工業領域,始終代表著創新的解決方案、高品質、穩定可靠的產品和的服務。公司自1890年創立至今百余年,現有將近2300名員工,20多家分公司遍布,并且在德國、法國、羅馬尼亞、韓國設有生產制造基地。隨著中國綜合國力的提升,產業結構升級,以及對節能減排,科研和高精尖制造工藝的強烈需求,對真空技術的需求也在不斷的提升。作為德國 Pfeiffer Vacuum GmbH 的全資子公司,普發真空技術上海有限公司 Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. 于 2007 年正式入駐中國上海,標志著普發真空在中國的業務已經初具規模,以及公司對中國持續增長的信心。公司現坐落于上海市浦東新區世紀公園附近,并且在江蘇無錫建有 4000m2 的售后服務工廠。上海繪吉電子科技有限公司獲得深圳科晶智達科技有限公司一級代理權,科晶為研究新一代可充電電池,超級電容器與快速儲能材料提供最完整的成套解決方案。方案定位于鋰電池的研究市場,主要為大專院校、科研院所以及生產企業提供實驗室用的小型混壓設備和機械加工與測試等一系列產品,提供研發環節所需的電池能源材料制備相關設備產品與成套實驗室方案:“混料-燒料-分析-涂層-成型-封裝-測試”設備:球磨機、高溫高壓爐、材料分析儀、涂層機、軋機、切片機、封裝機、電池分析儀等。上海繪吉電子科技有限公司成功和進口公司合作。德國普發真空設備,德國布魯克儀器有限公司,分析儀器有限公司,美國PE公司,美國熱電儀器有限公司,天美科技有限公司,島津,萊卡儀器,日本horriba,梅特勒等進口公司
激光拉曼光譜,分子熒光光譜,激光粒度儀
微型PECVD系統
微型PECVD系統 產品信息

這款小型PECVD,其腔體為 3" dia x 16" L的石英腔體,而且加熱圈在石英腔體內部對樣品進行加熱,此系統配有2通道混氣系統和雙旋機械泵。整套儀器都按放在一個移動架上,以便于實驗操作。等離子腔體內部的溫度可以達到400℃,采用程序化控溫。此款小型廉價的PECVD系統對于薄膜生長和納米線的制作是一款很好的選擇。

技術參數
等離子源

● 等離子體射頻電源:110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W

● 輸出頻率: 13.56 MHz

● 三檔射頻功率大?。?7.2W. 10.5W 和 18W (可調節)

● 腔體尺寸:3"OD x 2.7"ID x 16" L

● 儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內部的真空度為10^-2 torr(用機械泵)

1
滑動法蘭

● 有一滑軌法蘭安裝于移動架上,以便于樣品的放入和取出

● 樣品可以放入加熱線圈內,以達到更好的加熱效率和溫度的均勻性

加熱圈和溫控系統

● 加熱圈尺寸:50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使樣品達到的溫度為400℃

● 加熱圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩,以減小熱量損失

● 溫控方面:采用PID方式調節溫度,同時可設置30段升降溫程序,控溫精度為: +/-1oC

● 輸入電源: AC 220V, 功率:500W

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      Coil heater     Quartz protective tube    Temp. Controller      Heating coil         Alumina boat
兩通道混氣系統

● 混氣箱上安裝有兩個浮子流量計,其量程為10-100SCCM

● 三個機械壓力表:-0.1-0.15 MPa

● 混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥

● 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

● 混氣箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm( 13.4"x12"x7")

● 凈重: 14 lbs

真空和氣體接口

標準的真空配置有

● 一套3"的不銹鋼法蘭(上面安裝有KF-25的真空泵接口,一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)

● 一根KF25的波紋管(長度為1m)和三KF25卡箍

● 一個數字式真空顯示計

● 等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體,如N2, Ar, Air ,以及各種混合性氣體

● 可以調整腔體內的壓力或是進氣流量,確保等離子體達到樣品處

● (注意:不可通入易燃易爆性氣體)

真空泵

● 儀器中配有一雙旋機械真空泵,其抽氣速率為120L/min

● 進氣口為KF25接口,可以使腔體內真空度小于30mTorr

移動架

設備中配有一 600L x 600W x 600H(mm)的移動架,整個CVD系統可以安置于其上面

儀器尺寸

● 等離子源: 8.5" H x 10" W x 8" D

● 溫控盒: 4"H x 10"W x 8"D

● 移動架:600 x 600 x 600mm

重量70 lb (包含真空泵)
質保期一年質保期(不包含石英管和密封圈)
質量認證CE 認證
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