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廣州科朋科學儀器有限公司


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等離子灰化機

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更新時間：2025-01-06 11:33:43瀏覽次數：51次

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產品簡介

PDC200/210/510等離子清洗機特點：RIE模式標配(DP切換為選購)等離子的均應性高操作簡單的液晶觸摸屏控制面

詳細介紹

PDC200/210/510
等離子清洗機特點：
RIE模式標配(DP切換為選購)等離子的均應性高操作簡單的液晶觸摸屏控制面。

等離子清洗機用途：
CSB/BGA/COB基板的等離子處理有機膜和金屬氧化膜的除去印刷電路基板的干洗界面活性處理

型號PDC200PDC210PDC510
模式RIE模式（DP選配）DP/RIE切換方式
電極制造平行平板電極（固定）
頻率13.56MHz
控制方式自動聯動液晶觸摸屏控制
反應室材質鋁
反應氣體2系統(Ar/02)
充填氣體N2/潔凈干燥空氣
反應氣體流量控制流量計聚合控制器聚合控制器
真空泵另行選配油回旋真空泵（排氣量345L/min）油回旋真空泵（排氣量500L/min）
氣體導入口反應氣體2套、填充氣體1套
高頻輸出功率Max.300WMax.500WMax.500W
溫度設定方式用上下鍵進行數碼設定
反應室尺寸（mm）400×250×150400×250×150500×300×200
電極尺寸（mm）250×170250×170400×200
外形尺寸（mm）540×600×600540×600×600700×700×700
電源(50/60Hz)單相AC100V 15A3相AC200V 15A3相AC200V 15A




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