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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司


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大氣機械手Blade-D156

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

塑料機械網(wǎng)采購部電話:0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間:2023-09-11 13:38:10瀏覽次數(shù):114次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:134條

所在地區(qū):遼寧沈陽市

產(chǎn)品簡介

高潔凈等級,高速傳片,碰撞保護,Mapping,SEMI認(rèn)證S2,F(xiàn)47,迎合個性化設(shè)計手指及接口用戶可定制。

詳細(xì)介紹

耦合傳動、伺服驅(qū)動、潔凈傳動及潤滑、SCARA手臂結(jié)構(gòu),具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優(yōu)點。迎合個性化設(shè)計,手指及接口用戶可定制,網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng),高效率傳片和碰撞保護功能,SEMI認(rèn)證S2F47MCBF大于1000萬次。負(fù)責(zé)完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動傳送。是半導(dǎo)體行業(yè)的*之選擇。

參數(shù):

結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure

柱坐標(biāo)型/SCARA Cylindrical Coordinate/SCARA

負(fù)載Payload

名稱name

晶圓wafer

直徑diameter

2/4/6/8/12

重量weight

0.5kg

自由度數(shù)DOF

4

手?jǐn)?shù)量Number of Arm

2

回轉(zhuǎn)直徑Maximum Swing diameter

586mm

運動范圍

Moving Range

升降軸 (Z)Up/Down( Z)-Axis

450mm

回轉(zhuǎn)軸 (T) Rotational(T)-Axis

340°

伸展軸 (R1R2) Extension(R1R2)-Axis

R660mm

節(jié)拍

Swap time

升降軸 (Z)

Up/Down( Z)-Axis

0.5sHome to Fullextension

回轉(zhuǎn)軸 (T) Rotational(T)-Axis

0.7s/180°

伸展軸 (R1R2) Extension(R1R2)-Axis

1.2s/450mm

重復(fù)定位精度

Repeatability

升降軸 (Z)Up/Down( Z)-Axis

±0.1 mm(3σ)

回轉(zhuǎn)軸 (T) Rotational(T)-Axis

±0.006°(3σ)

伸展軸 (R1R2) Extension(R1R2)-Axis

±0.1 mm(3σ)

行程

660mm

潔凈度Clean Class

ISO CLASS 1

主機重量Body Weight

70 kg

電源Power Supply

208VAC(50Hz/60Hz)



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