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桌面型高性能磁控濺射系統(tǒng) Desktop Pro

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間：2022-09-11 09:17:43瀏覽次數(shù)：287次

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所在地區(qū)：上海上海市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

桌面型高性能磁控濺射系統(tǒng) Desktop Pro

詳細(xì)介紹

桌面型高性能磁控濺射系統(tǒng)
Desktop Pro提供了一種高性能，小巧，實(shí)惠的磁控濺射系統(tǒng)

節(jié)省空間
Desktop Pro只需要不到36英寸的空間（0.9m）

節(jié)省費(fèi)用
一個(gè)電源可以驅(qū)動(dòng)兩個(gè)靶槍

均勻性好
傾斜的靶槍和旋轉(zhuǎn)工件盤使得在整個(gè)工件盤上達(dá)到5%的鍍膜均勻性

抽真空速度快
抽速65lps的渦輪分子泵，保證系統(tǒng)優(yōu)秀的抽真空性能和對(duì)反應(yīng)氣體的負(fù)載能力

Desktop Pro產(chǎn)品彩頁(yè)下載


 

強(qiáng)大的控制系統(tǒng)
基于PLC的觸摸屏控制系統(tǒng)提供下列操作模式：維修模式，手動(dòng)操作模式和半自動(dòng)操作模式

互鎖保護(hù)避免不適當(dāng)操作對(duì)人員和設(shè)備的損害

 

 

典型應(yīng)用

磁控濺射

  • 磁控濺射
  • 材料研究
  • 產(chǎn)品質(zhì)量控制和分析
  • 半導(dǎo)體失效分析
  • 納米技術(shù)
  • 復(fù)合半導(dǎo)體

 

 
可選項(xiàng)
磁控濺射
液氮冷阱
共濺射
射頻/直流濺射電源
多靶槍
質(zhì)量流量控制器，精確控制氣體流量
泵選項(xiàng)
無(wú)油機(jī)械泵
 
 

 

關(guān)鍵詞：PLC 控制器

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