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勻膠機(jī)POLOS450
1、 勻膠機(jī)工作原理: 勻膠機(jī)(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。 2、勻膠機(jī)型號(hào)及技術(shù)參數(shù)如下:
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三、勻膠機(jī)的特點(diǎn):
1、該勻膠機(jī)采用德國(guó)*技術(shù):
2、勻膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計(jì),這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;
3、勻膠機(jī)真空Chuck經(jīng)精密加工制成,具有良好的光潔度及平整度,保證晶圓片被很好地吸附,主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐,軸向有彈性墊及調(diào)整墊,可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過(guò)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
5、勻膠機(jī)腔體配備吹氮(N2)功能,或壓縮空氣、氮?dú)鈮毫赏ㄟ^(guò)調(diào)壓閥和節(jié)流閥實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié),與配套真空泵一同使用。
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