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JBX-9500FS 電子束光刻系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱廣州文明機電有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地廣州市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/12/16 7:31:25
  • 訪問次數(shù)57
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廣州文明機電有限公司,簡稱GZ CVL(GZ Civil Mechatronic)成立于2006年,是業(yè)內的企業(yè),由留學歸國的北京大學博士后和華南師范大學MBA班學生共同創(chuàng)辦,擁有數(shù)十項,為廣東省科技型中小企業(yè),屬國家與專精特新培育企業(yè)。十幾年來,我們一直專注的領域包括科學儀器、汽車測試儀器、非標自動化設備、測試測量與控制、嵌入式開發(fā)工具和軟件工程。“GZ CVL”始終堅持品牌化經營戰(zhàn)略,以服務為基礎,以質量求生存,以管理求發(fā)展,秉承一切以客戶為中心的服務理念。憑借多年來客戶的信任和支持,“GZ CVL”積累了豐富的營銷及安裝經驗,是一家擁有的管理,的技術、高水平的營銷和完善的售后服務為一體化的專業(yè)化測試及分析儀器設備公司。工業(yè)推動中國,創(chuàng)新感動世界,GZ CVL以“創(chuàng)、建百年企業(yè)”為奮斗目標,積極促進“中國制造”向“中國創(chuàng)造”的轉變。公司以“科技開創(chuàng)未來”為宗旨,以專業(yè)技術為核心,以優(yōu)質產品為先導,為我國測試及分析技術發(fā)展做貢獻,努力實現(xiàn)中國工業(yè)騰飛。 廣州文明依靠國內外測試和分析儀器設備領域多家國際化大公司以及中山大學、華南理工大學的雄厚技術實力,代理專業(yè)測試分析儀器設備,開展相關技術培訓,自主研發(fā)配套軟硬件,并提供的系統(tǒng)解決方案。公司具有持續(xù)的自主創(chuàng)新能力和科研成果轉讓或者產業(yè)化的實力,核心產品包含:新能源汽車測試臺架,空燃比分析儀,尾氣分析儀,掃描電鏡,熱分析儀,光譜分析儀,質譜分析儀等。"GZ CVL" 和 "希為爾"為廣州文明機電有限公司所擁有的兩個注冊商標。本公司是日本HORIBA,日本Lineeye,美國Applus, 美國Innovate,美國midtronics,瑞典Kvaser,英國PICO,日本電子捷歐路(JEOL),德國林賽斯、韓國K LAB等公司的中國代理和經銷商。GZ Civil Mechatronic Co. Ltd.(), founded on 2006.It is a well-known enterprise in the industry, focus on test and analytical instruments R & D, manufacture and sales. Our company is committed to carry out the relevant technical training, independent research and development of automotive and industrial automation system, and provide the most effective system solutions. Our core products include: Automotive teaching training equipment, engine power test system, automobile oscilloscope, exhaust gas analyzer etc. 所獲榮譽:一、廣州市科技型中小企業(yè)技術創(chuàng)新基金二、“LM-2空燃比測試儀”榮獲“全國20佳維修工具”獎三、汽車示波器 3423-kit榮獲“全國20佳維修工具”獎四、“立富L總線分析儀”榮獲“全國20佳維修工具”特別獎五、廣東省“優(yōu)秀信用企業(yè)”六、阿里巴巴誠信通會員七、慧聰網買賣通會員八、具有外貿進出口權九、是增值稅一般納稅人十、自有商標品牌十一、廣東省科技型中小企業(yè)
JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),兼具高水平的產出量和定位精度,能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,適合納米壓印、光子器件、通信設備等多個領域的研發(fā)及生產。
JBX-9500FS 電子束光刻系統(tǒng) 產品信息

JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),兼具高水平的產出量和定位精度,能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,適合納米壓印、光子器件、通信設備等多個領域的研發(fā)及生產。

此外,由于具有100MHz的掃描速度,場尺寸在1000µm×1000µm時的套刻精度達到±11nm、場拼接精度為±10nm、寫場內位置精度達±9nm,是兼具高水準產出率和位置精度的100kV圓形束光刻系統(tǒng)。

由于采用的位置偏轉DAC為20位,掃描DAC為14位,能獲得0.25nm的掃描步距,分辨率更高,描畫數(shù)據(jù)增長1nm,可以更忠實地再現(xiàn)描畫數(shù)據(jù)。

達到100MHz的高速化掃描速度,保證了大電流描畫時的掃描步距很短,因而能提高對精度要求的圖形描畫的產出量。

由激光束控制(LBC)的0.15nm(λ/4096)的最小定位單位及高分辨率,達到了高水準的位置精度。

本公司獨自的自動校正功能(自動補償功能),實現(xiàn)了可信賴的長時間穩(wěn)定地描畫。自動補償可以根據(jù)時間(任意的)、場和圖形進行分別設定,非常適合于周末及休假等無人值守等情況下的長時間描畫。

該系統(tǒng)能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的光掩模版,適合于納米壓印、光子器件、通信設備等各種領域的研發(fā)及生產。采用材料卡匣傳送系統(tǒng)(選配),最多可裝載10個卡匣。

利用微間距控制程序(場尺寸微調程序)可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。

電子槍ZrO/W 肖特基型
描畫方式圓形束, 矢量掃描, 步進重復式
加速電壓100kV
樣品尺寸 樣品尺寸 (可以安裝): 300mmΦ的晶圓片, 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小樣品。
場尺寸1000µm×1000µm
樣品臺移動范圍260mmX240mm
樣品臺控制單元0.15nm(λ/4096)
套刻精度≦±11nm
場拼接精度≦±10nm (場尺寸為1000µm×1000µm)
寫場內位置精度≦±9nm(場尺寸為1000µm×1000µm)
定位DAC20位
掃描速度 100MHz
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